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	CHOTEST中图仪器白光干涉3D形貌测量仪中图仪器SuperViewW1白光干涉3D形貌测量仪以白光干涉技术原理，是对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器。它结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电	2023-10-19